PL检测仪在硅片生产流程应用位置

切片——激光标识——倒角——磨片——腐蚀——背损伤——边缘镜面抛光——预热清洗——抵抗稳定(退火)——背封——粘片——抛光——检查前清洗——外观检查----PL检测——金属清洗——擦片——激光检查——包装货运
 



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